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A simple fabrication process for disposable interdigitated electrode arrays with nanogaps for lab-on-a-chip applications
用于芯片实验室应用的具有纳米间隙的一次性叉指电极阵列的简单制造工艺
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Stefan Partel; Stephan Kasemann; Volha Matylitskaya; C. Thanner; Can Dincer; et al 出版日期:2017-03-31 |
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