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标题
Influence of bias voltage on the microstructure, mechanical and corrosion properties of AlSiN films deposited by HiPIMS technique
偏压对HiPIMS沉积AlSiN薄膜组织、力学和腐蚀性能的影响
相关领域
材料科学 微观结构 高功率脉冲磁控溅射 腐蚀 偏压 复合材料 溅射沉积 韧性 冶金 薄膜 溅射 电压 纳米技术 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.09.063
DOI
10.1016/j.jallcom.2018.09.063 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Ji Cheng Ding; Qi Min Wang; Zhe R. Liu; Seonhee Jeong; Teng Fei Zhang; et al
出版日期：2018-09-07
求助人
12334 在 2024-11-07 21:54:06 发布自福建，悬赏 10 积分
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