Sustainable Semiconductor Manufacturing: The Role of Lithography

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标题	Sustainable Semiconductor Manufacturing: The Role of Lithography 可持续半导体制造：光刻的作用相关领域半导体器件制造平版印刷术半导体工业半导体制造工程化合物半导体工程类材料科学工程物理纳米技术光电子学外延薄脆饼图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2024.3416830
DOI	10.1109/tsm.2024.3416830 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Emily Gallagher; Lars‐Åke Ragnarsson; Cédric Rolin 出版日期：2024-01-01
求助人	唠叨的黄蜂在 2025-02-25 11:15:33 发布自福建，悬赏 10 积分
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