Thermal Expansion and Atomic Structure of Amorphous Silicon Nitride Thin Films

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标题	Thermal Expansion and Atomic Structure of Amorphous Silicon Nitride Thin Films 非晶氮化硅薄膜的热膨胀与原子结构相关领域热脱附氮化硅化学气相沉积材料科学硅无定形固体氢解吸薄膜氮化物热膨胀非晶硅分析化学（期刊）化学工程结晶学纳米技术化学复合材料晶体硅光电子学物理化学有机化学图层（电子）吸附工程类
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.42.l1175
DOI	10.1143/jjap.42.l1175 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yoshihiro Saito; Tomohiro Kagiyama; Shigeru Nakajima 出版日期：2003-10-01
求助人	lcsolar 在 2024-11-12 08:12:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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