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 The Microstructure and Dielectric Properties of SiBCN Ceramics Fabricated Via LPCVD/CVI LPCVD/CVI法制备SiBCN陶瓷的微观结构和介电性能
相关领域
材料科学
微观结构
陶瓷
复合材料
电介质
化学气相沉积
氮化硅
化学工程
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期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Yongsheng Liu; Nan Chai; Xiaofei Liu; Hailong Qin; Xiaowei Yin; et al 出版日期：2015-09-01 |
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