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标题
Study about FZ/MCZ Si Wafer (Mother) Material Carbon and Oxygen density for RC-IGBT with Electron Beam Irradiation Based on Electrical and Physical Analysis
基于电学和物理分析的RC-IGBT电子束辐照FZ/MCZ硅(母)片碳氧密度研究
相关领域
薄脆饼 材料科学 辐照 绝缘栅双极晶体管 电子束处理 光电子学 碳纤维 氧气 双极结晶体管 阴极射线 晶体管 分析化学(期刊) 电子 电气工程 化学 复合材料 电压 物理 工程类 量子力学 有机化学 核物理学 色谱法 复合数
网址
DOI
10.23919/ispsd50666.2021.9452244 doi
其它 期刊:
作者:Haruhiko Minamitake; Takuya Yoshida; Kenji Suzuki; Yuki Haraguchi; Taiki Hoshi; et al
出版日期:2021-05-30
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