Anisotropic etching in low‐concentration KOH: effects of surfactant concentration

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标题	[高分] Anisotropic etching in low‐concentration KOH: effects of surfactant concentration 低浓度KOH中的各向异性刻蚀：表面活性剂浓度的影响相关领域肺表面活性物质蚀刻（微加工）各向异性材料科学化学工程图层（电子）复合材料光学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1049/mnl.2014.0685
DOI	10.1049/mnl.2014.0685 doi
其它	期刊：Micro & Nano Letters 作者：Prem Pal; Akarapu Ashok; Subhomoy Haldar; Yan Xing; Kazuo Sato 出版日期：2015-04-01
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