Experimental study of transition from electron beam to rf-power-controlled plasma in DFCCP in argon with additional ionization by an electron beam

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标题	Experimental study of transition from electron beam to rf-power-controlled plasma in DFCCP in argon with additional ionization by an electron beam 氩气中DFCCP电子束向射频功率控制等离子体转变的实验研究相关领域原子物理学朗缪尔探针等离子体电子等离子体诊断氩温度电子电离离子材料科学化学物理有机化学量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac6712
DOI	10.1088/1361-6463/ac6712 doi
其它	期刊：Journal of Physics D 作者：A I Zotovich; D. V. Lopaev; М. А. Богданова; Sergey Zyryanov; A. T. Rakhimov 出版日期：2022-04-13
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