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 Characterization and compensation of thermal bias drift of a stiffness-tunable MEMS accelerometer 刚度可调MEMS加速度计热偏置漂移的表征与补偿
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Tengfei Zhang; Zhipeng Ma; Yiming Jin; Ziyi Ye; Xudong Zheng; et al 出版日期：2022-05-17 |
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