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 In situ mass spectrometric investigation to probe GeSn growth dynamics and mechanisms in the chemical vapor deposition processes 原位MS研究探索化学蒸气沉积过程中Ge锡的生长动力学和机制
相关领域
原位
化学气相沉积
沉积（地质）
材料科学
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化学物理
化学
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沉积物
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Joshua M. Grant; Enbo Yang; Narges Masoumi; Alexander Golden; Joe Margetis; et al 出版日期：2024-06-26 |
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