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 Electron dynamics in planar radio frequency magnetron plasmas:I. The mechanism of Hall heating and the μ-mode 平面射频磁控等离子体中的电子动力学：I。霍尔加热机理与μ模
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Denis Eremin; Dennis Engel; Dennis M. Krüger; Sebastian Wilczek; Birk Berger; et al 出版日期：2023-04-01 |
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