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 Chromatic confocal coherence scanning interferometry with speed-variable scanning method to measure large-depth step 变速扫描法彩色共焦相干扫描干涉测量大深度台阶
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Yulu Zhao; Song Chang; Yi Zhang; Feifan Xu; Haojie Xia 出版日期：2024-02-14 |
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