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Numerical modeling of gas‐phase reactions of tetraethoxysilane/O2/Ar atmospheric dielectric barrier discharge for deposition
四乙氧基硅烷/O2/Ar常压介质阻挡放电沉积气相反应的数值模拟
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期刊:Plasma Processes and Polymers 作者:Jiaxin Chang; Dong Dai; Fei Kong; Tao Shao 出版日期:2023-04-10 |
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