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Sensing applications of micro- and nanoelectromechanical resonators
微纳机电谐振器的传感应用
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期刊:Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part N Journal of Nanoengineering and Nanosystems 作者:Florentina Niebelschütz; V. Cimalla; K Brückner; Ralf Stephan; Katja Tonisch; et al 出版日期:2007-06-01 |
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