Electrical uniformity analyses on 12-inch Si-based Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric capacitor devices by atomic layer deposition

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标题	Electrical uniformity analyses on 12-inch Si-based Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric capacitor devices by atomic layer deposition 12英寸硅基Hf0.5Zr 0.5 O2铁电电容器的原子层沉积电均匀性分析相关领域原子层沉积材料科学图层（电子）电容器沉积（地质）铁电性光电子学铁电电容器复合材料电气工程电介质电压地质学工程类古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.pnsc.2024.05.008
DOI	10.1016/j.pnsc.2024.05.008 doi
其它	期刊：Progress in Natural Science: Materials International 作者：Wen-Juan Ding; Yu Liu; Zhiqiang Xiao; Li Gao; Yuchen Li; et al 出版日期：2024-05-25
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