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标题
Interface engineering in epitaxial growth of sputtered β-Ga2O3 films on Si substrates via TiN (111) buffer layer for Schottky barrier diodes
Si衬底TiN(111)缓冲层溅射β-Ga2O3薄膜肖特基势垒二极管的界面工程研究
相关领域
材料科学 光电子学 外延 图层(电子) 无定形固体 高分辨率透射电子显微镜 退火(玻璃) 溅射沉积 微晶 溅射 透射电子显微镜 纳米技术 薄膜 结晶学 冶金 化学
网址
DOI
10.1016/j.mtadv.2023.100348 doi
求助人
唠叨的善若 在 2024-12-25 10:16:24 发布自江苏,悬赏 10 积分
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