Study on machining characteristics of magnetically controlled laser induced plasma micro-machining single-crystal silicon

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标题	Study on machining characteristics of magnetically controlled laser induced plasma micro-machining single-crystal silicon 磁控激光诱导等离子体微加工单晶硅加工特性研究相关领域机械加工材料科学激光器等离子体脆性硅表面完整性激光烧蚀研磨纵横比（航空）烧蚀磁场光学光电子学复合材料冶金航空航天工程工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jare.2020.12.005
DOI	10.1016/j.jare.2020.12.005 doi
其它	期刊：Journal of Advanced Research 作者：Yanming Zhang; Zhen Zhang; Yi Zhang; Denghua Liu; Jie Wu; et al 出版日期：2020-12-16
求助人	srf0602. 在 2024-12-23 16:42:15 发布自天津，悬赏 10 积分
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