标题 |
Research on wet etching techniques for very long-wavelength InAs/GaSb superlattices
超长波长InAs/GaSb超晶格湿法刻蚀技术研究
相关领域
超晶格
材料科学
光电子学
蚀刻(微加工)
波长
干法蚀刻
光学
纳米技术
物理
图层(电子)
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DOI | |
其它 |
期刊:Infrared Physics & Technology 作者:Junyue Wen; Xiantong Zheng; Xinbo Qi; Nianfei Wen; Weiqiang Chen; et al 出版日期:2024-01-01 |
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