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标题
Effective surface passivation of crystalline silicon by rf sputtered aluminum oxide
射频溅射氧化铝对晶体硅的有效表面钝化
相关领域
钝化 薄脆饼 材料科学 硅 图层（电子） 铝 氧化铝 氧化物 沉积（地质） 光电子学 溅射 溅射沉积 冶金 纳米技术 薄膜 生物 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1002/pssr.200903140
AI链接 wiley.comdoi.org
DOI
10.1002/pssr.200903140 doi
其它 期刊：physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters
作者：Tsu‐Tsung Li; Andrés Cuevas
出版日期：2009-06-30
求助人
玛卡巴卡 在 2025-01-20 20:03:00 发布自重庆，悬赏 10 积分
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