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Reduction of threading screw dislocations in 4H-SiC crystals by physical vapor transport growth
物理气相输运法减少4H-SiC晶体中的螺纹位错
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期刊: 作者:Guojie Hu; Guanglei Zhong; Xiu Yang; Xiufang Chen; Xuejian Xie; et al 出版日期:2023-02-07 |
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