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Concepts, Roadmaps and Challenges of Ovenized MEMS Gyroscopes: A Review
烘烤MEMS陀螺仪的概念、路线图和挑战:综述
相关领域
陀螺仪
温度控制
微电子机械系统
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Yuchen Wang; Rui Cao; Chong Liu; Robert N. Dean 出版日期:2021-01-01 |
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