Processing map to control the erosion of Y2O3 in fluorine based etching plasmas

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标题	Processing map to control the erosion of Y2O3 in fluorine based etching plasmas 控制氟基蚀刻等离子体中Y2O3腐蚀的工艺map 相关领域蚀刻（微加工）等离子体腐蚀等离子体刻蚀反应离子刻蚀材料科学分析化学（期刊）微观结构等离子体处理氧化物矿物学纳米技术冶金化学环境化学地质学物理量子力学古生物学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1111/jace.18334
DOI	10.1111/jace.18334 doi
其它	期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Moritz Kindelmann; Moritz L. Weber; Mark Stamminger; Rahel Buschhaus; U. Breuer; et al 出版日期：2022-01-15
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