发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
LPCVD silicon-rich silicon nitride films for applications in micromechanics, studied with statistical experimental design*
用于微力学应用的LPCVD富硅氮化硅薄膜，用统计实验设计研究*
相关领域
薄脆饼 化学气相沉积 材料科学 沉积（地质） 体积流量 氮化硅 硅 薄膜 复合材料 分析化学（期刊） 纳米技术 光电子学 化学 热力学 有机化学 物理 古生物学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/1.580239
AI链接 utwente.nl utwente.nl utwente.nldoi.org
DOI
10.1116/1.580239 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Han Gardeniers; H. A. C. Tilmans; C.C.G. Visser
出版日期：1996-09-01
求助人
hanghang 在 2025-01-07 22:13:04 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Critical Dimension Uniformity Via Real-Time Photoresist Thickness Control
  2. Fast Method to Determine the Structural Defect Density of 156 x 156 mm2 Mc-Si Wafers
  3. Minimum Silicon Wafer Thickness for ID Wafering
  4. Simultaneous double side grinding of silicon wafers: a mathematical model for the wafer shape
  5. Dose perturbation by wafer charging during ion implantation
  6. Development of Waxless Wafer Mounting System for Silicon Wafer Polishing Process
  7. Optimization of Etching Uniformity for Multi-Wafer Dry Etch Equipment
  8. A selective polishing approach for the fabrication of bonded-wafer silicon-on-insulator
  9. An Efficient Method of Wafer Thermal Uniformity Improvement and Wafer Edge Yield Enhancement by Util...
  10. K-1814 The Basic Investigation for the Heat Treatment of Silicon Wafers Arranged in a Row in Heating...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 18小时前

    丘比特 丘比特 Lv11 上传了文件

    待审核 JVS_14_2879.pdf (208.79 KB)

  • 23小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    22:13:06 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    22:13:04 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    22:13:04 已向机器人发送请求

  • 23小时前

    hanghang hanghang 求助人 Lv4 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
1秒前
领导范儿的应助被123采纳，获得10
2秒前
2秒前
3秒前
aiyana发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
研友_59AB85发布了新的文献求助10
6秒前
lxy发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
mixx19完成签到，获得积分10
7秒前
7秒前
7秒前
8秒前
小羊烧鸡完成签到，获得积分10
9秒前
隐形山兰发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
风继续吹完成签到，获得积分20
11秒前
郑帅发布了新的文献求助10
12秒前
张张孟孟发布了新的文献求助10
12秒前
英姑的应助被研友_59AB85采纳，获得10
13秒前
Lucas的应助被ningguizhang采纳，获得10
13秒前
华仔的应助被坚强的亦云-333采纳，获得10
14秒前
良辰的应助被就喝一口果汁采纳，获得10
15秒前
小鱼爱吃肉的应助被肉脸小鱼采纳，获得10
15秒前
16秒前
萧水白的应助被大胆的青槐采纳，获得10
16秒前
良辰的应助被qiuxuan100采纳，获得10
17秒前
嘚嘚完成签到，获得积分10
18秒前
19秒前
魈玖完成签到，获得积分10
20秒前
纯白发布了新的文献求助10
21秒前
情怀的应助被萧一江采纳，获得10
21秒前
23秒前
23秒前
24秒前
CRane发布了新的文献求助10
24秒前
Ava的应助被机密塔采纳，获得10
24秒前
cocolu的应助被Oceanstal采纳，获得10
25秒前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1020
Near Infrared Spectra of Origin-defined and Real-world Textiles (NIR-SORT): A spectroscopic and materials characterization dataset for known provenance and post-consumer fabrics 610
Mission to Mao: Us Intelligence and the Chinese Communists in World War II 600
Promoting women's entrepreneurship in developing countries: the case of the world's largest women-owned community-based enterprise 500
Shining Light on the Dark Side of Personality 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3306765
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2940542
关于积分的说明 8497634
捐赠科研通 2614749
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1428511
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 663431
邀请新用户注册赠送积分活动 648259
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通