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 Direct Detection of Free H2 Outgassing in Blisters Formed in Al2O3 Atomic Layers Deposited on Si and Methods of Its Prevention 硅上Al_2O_3原子层气泡中游离H_2除气的直接检测及防止方法
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Ryo Matsumura; Naoki Fukata 出版日期：2021-12-27 |
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