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 Characteristics of multi-element (ZrTaNbTiW)N films prepared by magnetron sputtering and plasma based ion implantation 磁控溅射和等离子体基离子注入制备多元（ZrTiNbTiW）N薄膜的特性
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：Xingguo Feng; Guangze Tang; Xinxin Ma; Mingren Sun; Liqin Wang 出版日期：2013-03-13 |
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