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 Study of damage mechanism on single crystal 4H-SiC surface layer by picosecond laser modification (PLM) 皮秒激光改性对单晶4H-SiC表面层损伤机理的研究
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期刊：Applied Surface Science 作者：Haixu Liu; Zhipeng Li; Ping Zhang; Dunwen Zuo; Wenkun Xie 出版日期：2024-07-11 |
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