Step-flow growth of Al droplet free AlN epilayers grown by plasma assisted molecular beam epitaxy

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标题	Step-flow growth of Al droplet free AlN epilayers grown by plasma assisted molecular beam epitaxy 等离子体辅助分子束外延无Al滴AlN外延层的分步生长相关领域分子束外延材料科学异质结外延光电子学等离子体增长率 Atom（片上系统）纳米技术图层（电子）几何学数学计算机科学量子力学物理嵌入式系统
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac79dd
DOI	10.1088/1361-6463/ac79dd doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Pengfei Shao; Siqi Li; Zhenhua Li; Hui Zhou; Dongqi Zhang; et al 出版日期：2022-06-29
求助人	zjjxcl 在 2024-03-27 09:24:49 发布自江苏，悬赏 10 积分
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