Investigation of gallium oxide thin film hetero-integrated with bulk diamond via atomic layer deposition - 科研通

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标题	Investigation of gallium oxide thin film hetero-integrated with bulk diamond via atomic layer deposition 原子层沉积法制备大块金刚石异质集成氧化镓薄膜的研究相关领域钻石材料科学 X射线光电子能谱金刚石材料性能拉曼光谱分析化学（期刊）薄膜微晶异质结原子层沉积光电子学纳米技术化学光学化学工程冶金物理色谱法工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158502
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158502 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Lin Gu; Hong-Ping Ma; Yuan Li; A. Y. Wang; Wen-Jie Chen; et al 出版日期：2023-12-01
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