Obtaining plasma parameters by Langmuir probes and optical emission spectroscopy in low-pressure DC plasma

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标题	Obtaining plasma parameters by Langmuir probes and optical emission spectroscopy in low-pressure DC plasma 用Langmuir探针和发射光谱获取低压直流等离子体中的等离子体参数相关领域朗缪尔探针温度电子等离子体诊断等离子体等离子体参数电子密度分析化学（期刊）原子物理学材料科学涂层光谱学薄膜化学纳米技术物理色谱法量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1080/10420150.2023.2195653
DOI	10.1080/10420150.2023.2195653 doi
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