3d mask simulation and lithographic imaging using physics-informed neural networks

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标题	3d mask simulation and lithographic imaging using physics-informed neural networks 基于物理神经网络的三维掩模模拟及光刻成像相关领域平版印刷术计算机科学人工神经网络物理人工智能光学
网址	https://doi.org/10.1117/12.3010466
DOI	10.1117/12.3010466 doi
其它	期刊：作者：Vlad Medvedev; Andreas Erdmann; Andreas Rosskopf 出版日期：2024-04-10
求助人	勤劳怜寒在 2024-04-19 10:42:28 发布自北京，悬赏 40 积分
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