Laser chemical vapor deposition of selected area Fe and W films

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标题	Laser chemical vapor deposition of selected area Fe and W films 激光化学气相沉积选区Fe和W薄膜相关领域化学气相沉积激光器沉积（地质）薄膜材料科学辐照脉冲激光沉积激光束分析化学（期刊）物理气相沉积光学化学光电子学纳米技术古生物学物理色谱法沉积物核物理学生物
网址	https://doi.org/10.1063/1.332154
DOI	10.1063/1.332154 doi
其它	期刊：Journal of applied physics 作者：Susan D. Allen; A. B. Tringubo 出版日期：1983-03-01
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