An Iterative Scheme for Hierarchical Production Planning in Semiconductor Wafer Fabrication

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标题	An Iterative Scheme for Hierarchical Production Planning in Semiconductor Wafer Fabrication 半导体晶圆制造中分层生产计划的迭代方案相关领域晶圆制造调度（生产过程）计算机科学生产计划半导体器件制造生产线作业车间调度工业工程生产控制生产（经济）薄脆饼数学优化可靠性工程分布式计算工程类嵌入式系统机械工程数学布线（电子设计自动化）宏观经济学经济电气工程
网址	https://doi.org/10.1109/ieem50564.2021.9672987
DOI	10.1109/ieem50564.2021.9672987 doi
其它	期刊：2021 IEEE International Conference on Industrial Engineering and Engineering Management (IEEM) 作者：Rajarshi Bardhan; Chi Xu; Zhiguang Cao; Puay Siew Tan 出版日期：2021-12-13
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