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 Effects of modulation layer thickness on fracture toughness of a TiN/AlN-Ni multilayer film 调制层厚度对TiN/AlN-Ni多层膜断裂韧性的影响
相关领域
材料科学
断裂韧性
复合材料
高分辨率透射电子显微镜
无定形固体
纳米压痕
锡
透射电子显微镜
弹性模量
缩进
韧性
微观结构
图层（电子）
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溅射沉积
薄膜
溅射
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纳米技术
化学
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期刊：Materials & Design 作者：Chao Zhou; Jingjing Wang; Jia Meng; Wei Li; Ping Liu; et al 出版日期：2022-10-01 |
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