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标题
Single photomask lithography for shape modulation of micropatterns
用于微图案形状调制的单掩模光刻
相关领域
光掩模 光刻 光刻胶 材料科学 平版印刷术 制作 纳米技术 计算光刻 调制（音乐） 抵抗 过程（计算） 多重图案 计算机科学 光电子学 图层（电子） 声学 物理 病理 操作系统 医学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1016/j.jiec.2019.12.034
DOI
10.1016/j.jiec.2019.12.034 doi
其它 期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry - Korean Society of Industrial and Engineering Chemistry
作者：Sang Hun Lee; Sung Eun Seo; Kyung Ho Kim; Jiyeon Lee; Chul Soon Park; et al
出版日期：2020-04-01
求助人
咚咚锵 在 2024-04-08 14:00:27 发布自山东，悬赏 10 积分
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