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 Demonstration of using HF-etchant mixed into CO2 to lift-off thin-film GaAs layers by supercritical fluid technology 超临界流体技术中掺入CO2的HF蚀刻剂剥离GaAs薄膜的演示
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期刊：Modern Physics Letters B 作者：David Jui-Yang Feng; Heng Kuo; Cheng‐Fu Yang 出版日期：2021-12-14 |
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