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标题
[求助补充材料] Electrochemical corrosion behavior and theoretical simulation of cobalt in chemical mechanical polishing process
化学机械抛光过程中钴的电化学腐蚀行为及理论模拟
相关领域
化学机械平面化 抛光 溶解 腐蚀 泥浆 材料科学 电化学 表面粗糙度 钴 吸附 化学工程 缓蚀剂 乙二胺 无机化学 冶金 化学 复合材料 电极 有机化学 物理化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.electacta.2023.143184
DOI
10.1016/j.electacta.2023.143184 doi
其它 期刊：Electrochimica Acta
作者：Bo Ye; Guofeng Pan; Xueli Yang; Yuhang Qi; Qi Fang; et al
出版日期：2023-11-01
求助人
罗怀蕊 在 2024-08-02 10:17:33 发布自天津，悬赏 20 积分
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