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 Optical modeling and characterization of bifacial SiNx/AlOx dielectric layers for surface passivation and antireflection in PERC 用于PERC表面钝化和减反射的双面SiNx/AlOx介质层的光学模拟与表征
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钝化
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晶体硅
涂层
光电子学
等离子体增强化学气相沉积
硅
原子层沉积
图层（电子）
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拉曼光谱
光学
纳米技术
物理
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