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 NXT:1980Di immersion scanner for 7nm and 5nm production nodes NXT：用于7纳米和5纳米生产节点的1980Di浸没式扫描仪
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Roelof de Graaf; Stefan Weichselbaum; Richard Droste; Mathew McLaren; B. H. Koek; et al 出版日期：2016-03-15 |
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