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 Study on the mechanism of second phase formation in high-purity fused silica materials for semiconductor application 半导体用高纯熔融石英材料中第二相形成机理的研究
相关领域
半导体
材料科学
机制（生物学）
相（物质）
化学工程
化学
光电子学
有机化学
工程类
物理
量子力学
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期刊：Journal of Non-crystalline Solids 作者：Zechen Hu; Zhiguo Yu; Tong Zhao; Degong Ding; Xiang Lv; et al 出版日期：2024-04-27 |
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