Critical dimension control in optical lithography

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标题	Critical dimension control in optical lithography 光学光刻中的临界尺寸控制相关领域激光线宽临界尺寸平版印刷术十字线集成电路晶体管光刻炸薯条薄脆饼材料科学计量学计算机科学光电子学电子工程光学物理工程类电气工程电信激光器电压
网址	https://doi.org/10.1016/s0167-9317(03)00334-4
DOI	10.1016/s0167-9317(03)00334-4 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Sergei V. Postnikov; Scott D. Hector; César M. Garza; Richard D. Peters; Vladimir Ivin 出版日期：2003-06-30
求助人	Raiden 在 2025-03-25 19:38:14 发布自广东，悬赏 10 积分
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