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![]() 电容耦合射频Ar/CF4放电的细胞内粒子/蒙特卡罗模拟:气体成分的影响
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Violeta Georgieva; Annemie Bogaerts; R. Gijbels 出版日期:2003-03-01 |
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