An Optimized Method for Cu CMP Dishing Improvement - 科研通

发布文献求助

亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

已完结

文献求助详情

标题	An Optimized Method for Cu CMP Dishing Improvement Cu CMP碟形改进的优化方法相关领域化学机械平面化材料科学薄脆饼抛光铜节点（物理）氧化物过程（计算）互连过程控制冶金光电子学计算机科学工程类操作系统结构工程计算机网络
网址	https://doi.org/10.1109/cstic55103.2022.9856870
DOI	10.1109/cstic55103.2022.9856870 doi
其它	期刊：作者：Lei Zhang; Yuan Meng; Yi Xian; Jian Zhang; Haifeng Zhou; et al 出版日期：2022-06-20
求助人	清爽老九在 2025-04-07 23:24:09 发布自河南，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

Cambridge University Press

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 搜集达人上传了应助文件

1秒前; andrele发布了新的文献求助20

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

12秒前; 赘婿上传了应助文件

14秒前; wayhome发布了新的文献求助10

18秒前; 丘比特的应助被koitoyu采纳，获得10

47秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

56秒前; MchemG的应助被虚拟的平安采纳，获得10

1分钟前; 丘比特上传了应助文件

1分钟前; koitoyu发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

1分钟前; 科研通管家关闭了鲁成危的文献求助

1分钟前; 乐乐上传了应助文件

3分钟前; 小赵发布了新的文献求助10

3分钟前; 爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

3分钟前; 田様上传了应助文件

3分钟前; MchemG上传了应助文件

3分钟前; 方宇上传了应助文件

3分钟前; 英姑的应助被小赵采纳，获得10

3分钟前; taotao完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

4分钟前; 凤梨发布了新的文献求助10

4分钟前; 方宇上传了应助文件

5分钟前; jimmy驳回了情怀的应助

5分钟前; CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

5分钟前; Jasper上传了应助文件

5分钟前; 情怀上传了应助文件

5分钟前; hgq发布了新的文献求助10

5分钟前; jimmy发布了新的文献求助10

5分钟前; 酷波er的应助被hgq采纳，获得10

6分钟前; 皮蛋努力科研完成签到，获得积分10

6分钟前; 凤梨完成签到，获得积分10

6分钟前; 可爱的函函上传了应助文件

6分钟前; xqqlgq发布了新的文献求助10

6分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

7分钟前; 科研通管家关闭了量子星尘的文献求助

7分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

8分钟前

高分求助中: Continuum Thermodynamics and Material Modelling 2000; Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 1000; こんなに痛いのにどうして「なんでもない」と医者にいわれてしまうのでしょうか 510; Questioning in the Primary School 500; いちばんやさしい生化学 500; The First Nuclear Era: The Life and Times of a Technological Fixer 500; 频率源分析与设计 300

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3686736; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3237074; 关于积分的说明 9829447; 捐赠科研通 2949032; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1617188; 邀请新用户注册赠送积分活动 764126; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 738322

今日热心研友

慕尼黑小燚

酷炫的翠阳

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通