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标题
Surface analysis of yttrium oxyfluoride deposited via air plasma spraying for Erosion resistance against NF3 plasma
空气等离子喷涂氟化钇抗NF3等离子体侵蚀性能的表面分析
相关领域
材料科学 钇 涂层 X射线光电子能谱 蚀刻（微加工） 大气压等离子体 等离子体 冶金 陶瓷 化学工程 复合材料 图层（电子） 量子力学 物理 工程类 氧化物
网址
https://doi.org/10.1007/s43207-023-00332-2
DOI
10.1007/s43207-023-00332-2 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Ceramic Society
作者：R. Kreethi; Yu-Jin Hwang; Ho-Young Lee; Jae-Hyuk Park; Kee‐Ahn Lee
出版日期：2023-10-06
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活着 在 2025-04-02 12:47:37 发布，悬赏 10 积分
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