The generation mechanism and suppression method of the "comet tail" defect on the single-crystal silicon surface polishing with magnetorheological

已完结

文献求助详情

标题	The generation mechanism and suppression method of the "comet tail" defect on the single-crystal silicon surface polishing with magnetorheological 磁流变抛光单晶硅表面彗尾缺陷的产生机理及抑制方法相关领域抛光材料科学磁流变液表面粗糙度机械加工彗星光学表面光洁度复合材料结构工程物理工程类冶金天体物理学阻尼器
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.03.032
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.03.032 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Feng Shi; Shuo-Wang Qiao; Ye Tian; Ci Song; Guipeng Tie; et al 出版日期：2022-03-01
求助人	Lwxbb 在 2024-01-18 20:39:37 发布自吉林，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 大媛媛完成签到，获得积分10

刚刚; 戴好头盔搞科研完成签到，获得积分10

1秒前; xm完成签到，获得积分20

2秒前; 糊涂的松慈完成签到，获得积分10

2秒前; lins发布了新的文献求助10

2秒前; 张兴发布了新的文献求助10

2秒前; 桐桐上传了应助文件

3秒前; orixero的应助被youxiaotong采纳，获得10

3秒前; Hyy发布了新的文献求助10

3秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

4秒前; xm发布了新的文献求助10

4秒前; 今后上传了应助文件

5秒前; Akim的应助被啊懂采纳，获得10

5秒前; 香蕉觅云的应助被方强采纳，获得10

5秒前; SciGPT的应助被yuyuyuan采纳，获得10

5秒前; orixero的应助被大媛媛采纳，获得10

5秒前; 在水一方的应助被鸽子采纳，获得10

5秒前; 小二郎上传了应助文件

5秒前; 归零儿完成签到，获得积分10

5秒前; 善学以致用上传了应助文件

6秒前; 彭于晏上传了应助文件

6秒前; ding上传了应助文件

6秒前; 打打上传了应助文件

7秒前; 蕊蕊一世平安呦发布了新的文献求助10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

7秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

8秒前; 怡然的笑旋发布了新的文献求助10

8秒前; 科研通管家关闭了怡然的笑旋的文献求助

8秒前; 可爱的函函上传了应助文件

9秒前; YangJie发布了新的文献求助10

10秒前; thanks完成签到，获得积分10

10秒前; yu001完成签到，获得积分10

11秒前; 林天完成签到，获得积分10

11秒前; Ava的应助被1234采纳，获得10

11秒前; 伶俐的珊发布了新的文献求助10

11秒前; 情怀的应助被DueDue0327采纳，获得10

11秒前; 直率芮发布了新的文献求助10

11秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

12秒前; 雪芜发布了新的文献求助10

12秒前; 如意醉香完成签到，获得积分10

12秒前