Structural, Optical, and Electrical Properties of InOx Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Flexible Device Applications

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标题	Structural, Optical, and Electrical Properties of InOx Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Flexible Device Applications 用于柔性器件的等离子体增强原子层沉积InOx薄膜的结构、光学和电学性能相关领域材料科学薄膜晶体管原子层沉积薄膜铟光电子学基质（水族馆）图层（电子）聚萘二甲酸乙二醇酯分析化学（期刊）纳米技术化学色谱法海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c00434
DOI	10.1021/acsaelm.2c00434 doi
其它	期刊：ACS applied electronic materials 作者：TaeHyun Hong; KyoungRok Kim; Suhwan Choi; Seung-Hwan Lee; Ki-Lim Han; et al 出版日期：2022-05-27
求助人	zzcherished 在 2023-10-27 13:42:03 发布自上海，悬赏 10 积分
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