标题 |
Structural, Optical, and Electrical Properties of InOx Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Flexible Device Applications
用于柔性器件的等离子体增强原子层沉积InOx薄膜的结构、光学和电学性能
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
原子层沉积
薄膜
铟
光电子学
基质(水族馆)
图层(电子)
聚萘二甲酸乙二醇酯
分析化学(期刊)
纳米技术
化学
色谱法
海洋学
地质学
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期刊:ACS applied electronic materials 作者:TaeHyun Hong; KyoungRok Kim; Suhwan Choi; Seung-Hwan Lee; Ki-Lim Han; et al 出版日期:2022-05-27 |
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