Purion XEmax, Axcelis ultra-high energy implanter with Boost™ technology - 科研通

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标题	Purion XEmax, Axcelis ultra-high energy implanter with Boost™ technology 相关领域材料科学砷工程物理梁（结构）低能离子束离子注入高能光电子学原子物理学光学离子冶金量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-022-00442-9
DOI	10.1557/s43580-022-00442-9 doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：Shu Satoh; Wilhelm Platow; Serguei Kondratenko; Leonard Rubin; Patrick Mayfield; et al 出版日期：2023-01-10
求助人	sandy_bear 在 2023-03-14 10:37:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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