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 Applications of Kinetic Monte Carlo Simulations and Machine Learning to model Atomic Layer Deposition (ALD) of Metal Oxides 相关领域
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期刊：Bulletin of the American Physical Society 作者：David J. Magness; Emily Justus; Bikash Timalsina; Judy Z. Wu; Ridwan Sakidja 出版日期：2021-03-19 |
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