Amorphous Silicon-Carbon Alloy Prepared by the CMP (Controlled Plasma Magnetron) Method

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标题	Amorphous Silicon-Carbon Alloy Prepared by the CMP (Controlled Plasma Magnetron) Method 相关领域材料科学硅等离子体增强化学气相沉积无定形固体无定形碳化学工程碳纤维等离子体非晶硅溅射沉积碳化硅分析化学（期刊）合金
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.30.7/meta
DOI	10.1143/JJAP.30.7 doi
求助人	羊yang 在 2022-07-02 10:01:14 发布自湖北，悬赏 10 积分
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