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Defect reduction in SiC epilayers by different substrate cleaning methods
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106414
DOI
10.1016/j.mssp.2021.106414 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：D. Baierhofer; B. Thomas; F. Staiger; Barbara Marchetti; Carola Förster; et al
出版日期：2022-03-01
求助人
flystone 在 2023-03-24 21:05:47 发布自浙江，悬赏 10 积分
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