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 Effective charge dynamics in Al2O3/SiO2 multilayer stacks and their influence on silicon surface passivation 相关领域
钝化
材料科学
硅
原子层沉积
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期刊：Applied Surface Science 作者：Hemangi Patel; Christian Reichel; Armin Richter; Paul Masuch; Jan Benick; et al 出版日期：2021-12-01 |
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